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脱胶+插片+清洗一体机

产品简介

本设备是通过高温乳酸软化胶水将硅片和板材进脱胶行分离,利用水流冲击分片,再送硅片入篮,并通过碱性及酸性试剂配合超声波,在一定温度下去除硅片表面有机物、微型颗粒和金属离子等杂质实现硅片脱胶、插片、清洗一体化。

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技术参数

适用范围:产品长宽182-230mm(可切换半片)
产能:210≥20000pcs/h    185≥18000pcs/h
稼动率:≥98%
良率:≥99%(含碎片、硅落、崩边、污片、卡片率、划痕等)


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